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CO₂-Schneestrahlreinigung
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Bei der CO₂-Schneestrahlreinigung wird flüssiges CO₂ in einer Zweistoffdüse entspannt und der hierbei entstehende CO₂-Schnee mittels Druckluft stark beschleunigt. Der Strahl lässt sich einsetzen um anhaftende partikuläre und filmische Verunreinigungen zu entfernen, beispielsweise auf der Oberfläche eines Silizium-Wafers.
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