EFM. AFM Theory from NT-MDT.

Theory from NT-MDT.
More information you could find here:

Your AFM & Raman Company

Generally Electrostatic force microscopy (EFM) can be used in several modes, depending on the type of the sample under investigation and kind of the required information. The most useful of them is Non-Contact EFM mode based on the two-pass technique. During the second pass the cantilever is piezodrived at resonant frequency and cantilever is grounded or biased by dc voltage V.
Capacitive tip-sample electrostatic force (or rather its derivative) leads to resonance frequency shift. Accordingly amplitude of cantilever oscillation decreases and phase of oscillation changes. Both amplitude and (or) phase of oscillation deviations can be measured and electric potential distribution over the sample surface can be imaged.

В общем случае Электростатическая силовая микроскопия (ЭСМ) может быть использована в нескольких вариантах, в зависимости от типа исследуемого образца и вида необходимой информации.
Наиболее распространена из них Бесконтактная ЭСМ, основанная на двухпроходной методике. На втором проходе кантилевер приводится в колебательное состояние на резонансной частоте, при этом кантилевер заземлен или находится при постоянном смещении V.
Емкостная сила взаимодействия зонд-образец (или скорее ее производная) приводит к сдвигу резонансной частоты. Соответственно амплитуда колебаний кантилевера уменьшается и фаза его колебаний сдвигается. При этом и амплитуда и фаза колебаний могут быть измерены и использованы для отображения распределение электрического потенциала по поверхности образца.